新材料领域：功能性薄膜

成果名称 

功能性薄膜 

联系人 

康升红

联系电话 

0551-65591440 

邮 箱 

shkang@issp.ac.cn

所属产业领域 

新材料 

所处阶段 

成熟待产业化 

所属研究所（中心）：固体物理研究所 

成果简介：

如导电薄膜、铁电/介电薄膜、磁性薄膜、光学薄膜及其他复合功能性薄膜，是电存储器、微电子信息、精密光学等仪器的重要组成部分，有着广泛的应用。 

主要技术指标（或参数）： 

铁电薄膜为例：（BiFeO₃，Bi₄Ti₃O₁₂，(Ba, Sr)TiO₃） 

1、大尺寸（可达1英寸）； 

2、铁电极化强度大于50uC/cm²；

3、化学溶液法可实现功能薄膜多品种、大尺寸、低成本批量制备。

其他可制备的功能薄膜有：

1、导电薄膜：LaNiO₃，(La, Sr)MnO₃（微结构和性能可调）； 

2、磁性薄膜：CoFe₂O₄，SrFe12O19/BaFe12O19，(La, Sr)MnO₃（微结构和性能可调）；AMoO₄（光致发光）； 

3、光学薄膜：ZnO，BaSnO₃，(La, Sr)TiO₃（透明导电可调）； 

4、其它功能薄膜：CeO₂（固体氧化物燃料电池、微结构可调），层状钴基氧化物薄膜（热电性能可调），Ga₂O₃（紫外探测器件）。 

应用领域： 

电存储器、微电子信息、精密光学等仪器。 

市场前景：

部分多功能薄膜已经提供给哈佛大学、斯坦福大学和麻省理工学院/清华大学、北京大学等国内外大学及美国、日本等国外知名企业。 

拟转化的方式（或合作模式）： 

可采用研究所与企业通过成果转让或技术入股等方式，共同推进该成果的产业化。