11月29日，安徽省科技厅组织专家对安光所承担的省对外科技合作计划项目“用于高端显示平板制造的ELA设备联合研发”进行验收。

　　ELA设备是高端显示技术LTPS TFT- LCD低温多晶硅薄膜制备的关键装备，还将作为主流工艺设备应用于下一代显示技术—AMOLED。安光所在突破多项关键技术的基础上，研制完成用于高端显示制造的准分子激光退火设备原理性样机，实现了大能量、高横纵比、能量分布均匀的准分子激光线光束扫描。首次基于国产设备样机进行了低温多晶硅样品制备，并获得了良好的效果，为该设备的国产化奠定了良好的基础。

   专家组由来自中国科学技术大学、国防科学技术大学、合肥工业大学、安徽大学、浙江师范大学的光学专家组成。项目负责人方晓东研究员就“大能量准分子激光”和“线光束整形”等一系列平板显示退火设备关键技术的研究进展、项目执行情况进行了汇报。专家组对项目研究内容及考核指标的完成情况、成果的创新性、国际合作的实施效果、项目经费使用情况等方面进行了综合评审。专家组一致认为项目严格按照任务书要求开展工作，完成了任务书预定的研究内容，各项考核指标达到验收要求，同意通过验收。

　　验收会及现场检查

　　ELA样机及用其制备的多晶硅形貌